Yumşaq litoqrafiya

SOFT LITHOGRAPHY  nümunə ötürülməsi üçün bir sıra proseslər üçün istifadə olunan termindir. Usta qəlib bütün hallarda tələb olunur və standart litoqrafiya üsulları ilə mikrofabrikasiya edilir. Usta qəlibdən istifadə edərək yumşaq litoqrafiyada istifadə olunacaq elastomer naxış/möhür istehsal edirik. Bu məqsədlə istifadə olunan elastomerlər kimyəvi cəhətdən təsirsiz olmalı, yaxşı istilik dayanıqlılığı, möhkəmliyi, davamlılığı, səth xüsusiyyətlərinə malik olmalı və hiqroskopik olmalıdır. Silikon kauçuk və PDMS (Polidimetilsiloksan) iki yaxşı namizəd materialdır. Bu markalardan yumşaq litoqrafiyada dəfələrlə istifadə etmək olar.

 

 

 

Yumşaq litoqrafiyanın bir variantı MICROCONTACT PRINTING. Elastomer möhürü mürəkkəblə örtülür və səthə basdırılır. Naxış zirvələri səthlə təmasda olur və mürəkkəbin təxminən 1 monolayının nazik təbəqəsi köçürülür. Bu nazik təbəqə monolayer selektiv yaş aşındırma üçün maska rolunu oynayır.

 

 

 

İkinci variasiya isə MICROTRANSFER FOLDING-dir, burada elastomer qəlibin boşluqları maye polimer prekursoru ilə doldurulur və səthə doğru itələnir. Mikrotransfer qəlibindən sonra polimer bərkidikdən sonra biz istədiyimiz naxışı geridə qoyaraq kalıbı soyuruq.

 

 

 

Nəhayət, üçüncü variasiya is KAPİLYARLARDA MİKROMOLDANMA, burada elastomer ştamp nümunəsi maye polimeri yan tərəfdən ştampın içərisinə çəkmək üçün kapilyar qüvvələrdən istifadə edən kanallardan ibarətdir. Əsasən, maye polimerin kiçik bir hissəsi kapilyar kanallara bitişik yerləşdirilir və kapilyar qüvvələr mayeni kanallara çəkir. Həddindən artıq maye polimer çıxarılır və kanalların içərisindəki polimerin qurumasına icazə verilir. Marka qəlibi soyulur və məhsul hazırdır. Əgər kanalın aspekt nisbəti ortadırsa və icazə verilən kanal ölçüləri istifadə olunan mayedən asılıdırsa, nümunənin yaxşı təkrarlanması təmin edilə bilər. Kapilyarlarda mikroqəliblənmədə istifadə olunan maye termoset polimerləri, keramik sol-gel və ya maye həlledicilər içərisində bərk maddələrin süspansiyonları ola bilər. Kapilyarlarda mikroqəlibləmə texnikası sensor istehsalında istifadə edilmişdir.

 

 

 

Yumşaq litoqrafiya mikrometrdən nanometrə qədər ölçülən xüsusiyyətləri qurmaq üçün istifadə olunur. Yumşaq litoqrafiyanın fotolitoqrafiya və elektron şüa litoqrafiyası kimi digər litoqrafiya formalarına nisbətən üstünlükləri var. Üstünlüklərə aşağıdakılar daxildir:

 

• Kütləvi istehsalda ənənəvi fotolitoqrafiya ilə müqayisədə aşağı qiymət

 

• Biotexnologiya və plastik elektronikada tətbiqlər üçün uyğunluq

 

• Böyük və ya düz olmayan (düz olmayan) səthləri əhatə edən tətbiqlər üçün uyğunluq

 

• Yumşaq litoqrafiya ənənəvi litoqrafiya üsullarından daha çox naxış ötürmə üsulları təklif edir (daha çox ''mürəkkəb'' variantları)

 

• Yumşaq litoqrafiya nanostrukturlar yaratmaq üçün fotoreaktiv səthə ehtiyac duymur

 

• Yumşaq litoqrafiya ilə biz laboratoriya şəraitində fotolitoqrafiyadan daha kiçik detallar əldə edə bilərik (~30 nm vs ~100 nm). Qətnamə istifadə edilən maskadan asılıdır və 6 nm-ə qədər olan dəyərlərə çata bilər.

 

 

 

ÇOXQATLI SOFT LITHOGRAPHY  mikroskopik kameraların, kanalların, klapanların və vidaların elastomerlərin birləşdirilmiş təbəqələri içərisində qəlibləndiyi istehsal prosesidir. Çox qatlı yumşaq litoqrafiya cihazlarından istifadə edərək yumşaq materiallardan hazırlana bilər. Bu materialların yumşaqlığı cihazın sahələrini silikon əsaslı cihazlarla müqayisədə iki böyüklükdən daha çox azaltmağa imkan verir. Sürətli prototipləmə, istehsal asanlığı və biouyğunluq kimi yumşaq litoqrafiyanın digər üstünlükləri çox qatlı yumşaq litoqrafiyada da etibarlıdır. Biz bu texnikadan tamamilə elastomerlərdən açma-söndürmə klapanları, keçid klapanları və nasosları olan aktiv mikrofluidik sistemlər qurmaq üçün istifadə edirik.