নরম লিথোগ্রাফি

SOFT LITHOGRAPHY  প্যাটার্ন স্থানান্তরের জন্য বেশ কয়েকটি প্রক্রিয়ার জন্য ব্যবহৃত একটি শব্দ। একটি মাস্টার ছাঁচ সব ক্ষেত্রে প্রয়োজন এবং আদর্শ লিথোগ্রাফি পদ্ধতি ব্যবহার করে মাইক্রোফ্যাব্রিকেট করা হয়। মাস্টার ছাঁচ ব্যবহার করে, আমরা নরম লিথোগ্রাফিতে ব্যবহার করার জন্য একটি ইলাস্টোমেরিক প্যাটার্ন/স্ট্যাম্প তৈরি করি। এই উদ্দেশ্যে ব্যবহৃত ইলাস্টোমারগুলিকে রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় হতে হবে, ভাল তাপীয় স্থিতিশীলতা, শক্তি, স্থায়িত্ব, পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্য থাকতে হবে এবং হাইড্রোস্কোপিক হতে হবে। সিলিকন রাবার এবং PDMS (Polydimethylsiloxane) দুটি ভাল প্রার্থী উপাদান। এই স্ট্যাম্পগুলি নরম লিথোগ্রাফিতে অনেকবার ব্যবহার করা যেতে পারে।

 

 

 

নরম লিথোগ্রাফির একটি পরিবর্তন হল MICROCONTACT প্রিন্টিং। ইলাস্টোমার স্ট্যাম্প একটি কালি দিয়ে লেপা হয় এবং একটি পৃষ্ঠের বিরুদ্ধে চাপা হয়। প্যাটার্নের শিখরগুলি পৃষ্ঠের সাথে যোগাযোগ করে এবং কালিটির প্রায় 1 টি মনোলেয়ারের একটি পাতলা স্তর স্থানান্তরিত হয়। এই পাতলা ফিল্ম monolayer নির্বাচনী ভেজা খোঁচা জন্য মুখোশ হিসাবে কাজ করে।

 

 

 

একটি দ্বিতীয় প্রকরণ হল MICROTRANSFER MOLDING, যাতে ইলাস্টোমার ছাঁচের ছিদ্রগুলি তরল পলিমার পূর্বসূর দিয়ে ভরা হয় এবং একটি পৃষ্ঠের বিপরীতে ধাক্কা দেওয়া হয়। মাইক্রোট্রান্সফার ছাঁচনির্মাণের পরে পলিমার নিরাময় হয়ে গেলে, আমরা পছন্দসই প্যাটার্নটি রেখে ছাঁচটি খোসা ছাড়ি।

 

 

 

সবশেষে একটি তৃতীয় প্রকরণ হল ক্যাপিলারিতে মাইক্রোমোল্ডিং, যেখানে ইলাস্টোমার স্ট্যাম্প প্যাটার্নে এমন চ্যানেল রয়েছে যা কৈশিক শক্তি ব্যবহার করে একটি তরল পলিমারকে তার পাশ থেকে স্ট্যাম্পে নিয়ে যায়। মূলত, অল্প পরিমাণ তরল পলিমার কৈশিক চ্যানেলগুলির সংলগ্ন স্থাপন করা হয় এবং কৈশিক শক্তিগুলি তরলটিকে চ্যানেলগুলিতে টেনে নিয়ে যায়। অতিরিক্ত তরল পলিমার সরানো হয় এবং চ্যানেলগুলির ভিতরে পলিমার নিরাময় করার অনুমতি দেওয়া হয়। স্ট্যাম্প ছাঁচ বন্ধ peeled এবং পণ্য প্রস্তুত. যদি চ্যানেলের আকৃতির অনুপাত মাঝারি হয় এবং চ্যানেলের মাত্রা ব্যবহার করা তরলের উপর নির্ভর করে, তাহলে ভাল প্যাটার্ন প্রতিলিপি নিশ্চিত করা যেতে পারে। কৈশিকগুলির মাইক্রোমোল্ডিংয়ে ব্যবহৃত তরল থার্মোসেটিং পলিমার, সিরামিক সল-জেল বা তরল দ্রাবকের মধ্যে কঠিন পদার্থের সাসপেনশন হতে পারে। কৈশিক কৌশলে মাইক্রোমোল্ডিং সেন্সর তৈরিতে ব্যবহৃত হয়েছে।

 

 

 

মাইক্রোমিটার থেকে ন্যানোমিটার স্কেলে পরিমাপ করা বৈশিষ্ট্যগুলি তৈরি করতে নরম লিথোগ্রাফি ব্যবহার করা হয়। ফোটোলিথোগ্রাফি এবং ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফির মতো অন্যান্য ধরণের লিথোগ্রাফির তুলনায় নরম লিথোগ্রাফির সুবিধা রয়েছে। সুবিধার মধ্যে নিম্নলিখিতগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:

 

• ঐতিহ্যগত ফটোলিথোগ্রাফির তুলনায় ভর উৎপাদনে কম খরচ

 

• জৈবপ্রযুক্তি এবং প্লাস্টিক ইলেকট্রনিক্স অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ততা

 

• বৃহৎ বা ননপ্লানার (ননফ্ল্যাট) সারফেস জড়িত অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ততা

 

• নরম লিথোগ্রাফি প্রথাগত লিথোগ্রাফি কৌশলগুলির চেয়ে বেশি প্যাটার্ন-হস্তান্তর পদ্ধতি অফার করে (আরো ''কালি'' বিকল্প)

 

• নরম লিথোগ্রাফির ন্যানোস্ট্রাকচার তৈরি করতে ফটো-প্রতিক্রিয়াশীল পৃষ্ঠের প্রয়োজন হয় না

 

• নরম লিথোগ্রাফির মাধ্যমে আমরা পরীক্ষাগার সেটিংসে ফটোলিথোগ্রাফির চেয়ে ছোট বিবরণ অর্জন করতে পারি (~30 nm বনাম ~ 100 nm)। রেজোলিউশনটি ব্যবহৃত মাস্কের উপর নির্ভর করে এবং মান 6 এনএম পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে।

 

 

 

মাল্টিলেয়ার সফ্ট লিথোগ্রাফি  হল একটি বানোয়াট প্রক্রিয়া যেখানে মাইক্রোস্কোপিক চেম্বার, চ্যানেল, ভালভ এবং ভিয়াগুলি ইলাস্টোমারের বন্ধনযুক্ত স্তরগুলির মধ্যে তৈরি করা হয়। একাধিক স্তর সমন্বিত মাল্টিলেয়ার নরম লিথোগ্রাফি ডিভাইস ব্যবহার করা নরম উপকরণ থেকে তৈরি হতে পারে। এই উপকরণগুলির স্নিগ্ধতা সিলিকন-ভিত্তিক ডিভাইসগুলির তুলনায় ডিভাইসের ক্ষেত্রগুলিকে দুইটিরও বেশি মাত্রায় হ্রাস করতে দেয়। নরম লিথোগ্রাফির অন্যান্য সুবিধা, যেমন দ্রুত প্রোটোটাইপিং, তৈরির সহজতা এবং বায়োকম্প্যাটিবিলিটি, মাল্টিলেয়ার নরম লিথোগ্রাফিতেও বৈধ। অন-অফ ভালভ, স্যুইচিং ভালভ এবং ইলাস্টোমার থেকে সম্পূর্ণরূপে পাম্প করে সক্রিয় মাইক্রোফ্লুইডিক সিস্টেম তৈরি করতে আমরা এই কৌশলটি ব্যবহার করি।