Litografi mou

SOFT LITHOGRAPHY se yon tèm ki itilize pou yon kantite pwosesis pou transfè modèl. Yon mwazi mèt nesesè nan tout ka yo epi li mikrofabrike lè l sèvi avèk metòd litografi estanda. Sèvi ak mwazi mèt la, nou pwodui yon modèl elastomerik / koupon pou yo itilize nan litografi mou. Elastomers yo itilize pou objektif sa a bezwen chimikman inaktif, gen bon estabilite tèmik, fòs, durability, pwopriyete sifas yo epi yo dwe igroskopik. Kawotchou silikon ak PDMS (Polydimethylsiloxane) se de bon materyèl kandida. Koupon pou achte sa yo ka itilize anpil fwa nan litografi mou.

 

 

 

Yon varyasyon nan litografi mou se MICROCONTACT PRINTING. Se koupon pou elastomèr la kouvwi ak yon lank epi bourade sou yon sifas. Pik modèl yo kontakte sifas la epi yo transfere yon kouch mens apeprè 1 monokouch lank la. Monokouch fim mens sa a aji kòm mask pou grave mouye selektif.

 

 

 

Yon dezyèm varyasyon se MICROTRANSFER MOLDING, nan ki rekreyasyon yo nan mwazi elastomè yo plen ak likid polymère précurseur ak pouse kont yon sifas. Yon fwa polymère a geri apre bòdi mikrotransfè, nou kale mwazi an, kite dèyè modèl la vle.

 

 

 

Anfen yon twazyèm varyasyon se MICROMOLDING IN CAPILLARIES, kote modèl koupon pou elastomè a konsiste de chanèl ki sèvi ak fòs kapilè pou mèch yon polymère likid nan koupon pou bò kote l. Fondamantalman, yon ti kantite polymère likid la mete adjasan a chanèl kapilè yo ak fòs kapilè yo rale likid la nan chanèl yo. Yo retire twòp likid polymère ak polymère andedan chanèl yo pèmèt yo geri. Mwazi koupon pou achte a kale epi pwodwi a pare. Si rapò aspè chanèl la modere ak dimansyon kanal yo pèmèt depann de likid la itilize, bon replikasyon modèl ka asire. Likid ki itilize nan micromolding nan kapilè yo ka polymère thermosetting, sol-jèl seramik oswa sispansyon solid nan solvang likid. Mikromolding nan teknik kapilè yo te itilize nan manifakti Capteur.

 

 

 

Yo itilize litografi mou pou konstwi karakteristik ki mezire sou echèl mikromèt ak nanomèt. Litografi mou gen avantaj sou lòt fòm litografi tankou fotolitografi ak litografi gwo bout bwa elèktron. Avantaj yo enkli bagay sa yo:

 

• Pi ba pri nan pwodiksyon an mas pase fotolitografi tradisyonèl yo

 

• Apwopriye pou aplikasyon nan biotechnologie ak elektwonik plastik

 

• Apwopriye pou aplikasyon ki enplike sifas gwo oswa ki pa plan (ki pa plat).

 

• Litografi mou ofri plis metòd transfè modèl pase teknik litografi tradisyonèl yo (plis opsyon ''lank'')

 

• Litografi mou pa bezwen yon sifas foto-reyaktif pou kreye nanoestrikti

 

• Avèk litografi mou nou ka reyalize detay ki pi piti pase fotolitografi nan anviwònman laboratwa (~30 nm vs ~100 nm). Rezolisyon an depann de mask la itilize epi li ka rive jwenn valè jiska 6 nm.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY is yon pwosesis fabwikasyon kote mikwoskopik chanm, chanèl, tiyo ak vias yo modle nan kouch elastomè. Lè l sèvi avèk plizyè kouch aparèy litografi mou ki gen plizyè kouch ka fabrike nan materyèl mou. Dousè nan materyèl sa yo pèmèt zòn aparèy yo dwe redwi pa plis pase de lòd nan grandè konpare ak aparèy ki baze sou Silisyòm. Lòt avantaj ki genyen nan litografi mou, tankou pwototip rapid, fasilite nan fabwikasyon, ak byokonpatibilite, yo valab tou nan litografi mou multi. Nou itilize teknik sa a pou konstwi sistèm mikwofluidik aktif ak valv on-off, valv switching, ak ponp antyèman soti nan elastomè.