Микро жинақтау және орау

Біз қазірдің өзінде біздің МИКРО ЖИНАУ ЖӘНЕ ОРАМАЛУ қызметтер мен өнімдерге қатысты арнайы micro19535d_беттегі micro19535db-беттегі қысқаша мазмұндадық.Микроэлектроника өндірісі / жартылай өткізгіштерді өндіру.

 

Мұнда біз механикалық, оптикалық, микроэлектрондық, оптоэлектрондық және олардың комбинациясынан тұратын гибридті жүйелерді қоса алғанда, өнімдердің барлық түрлерінде қолданатын жалпы және әмбебап микро жинақтау және орау әдістеріне назар аударамыз. Біз осы жерде талқылайтын әдістер жан-жақты және ерекше және стандартты емес қолданбаларда қолданылады деп санауға болады. Басқаша айтқанда, мұнда талқыланатын микро жинақтау және орау әдістері «қораптан тыс» ойлауға көмектесетін біздің құралдарымыз болып табылады. Міне, микро жинақтау және орау әдістерінің кейбірі:

 

 

 

- Қолмен микро жинақтау және орау

 

- Автоматтандырылған микро жинақтау және орау

 

- Сұйықтықты өздігінен құрастыру сияқты өздігінен құрастыру әдістері

 

- Діріл, гравитациялық немесе электростатикалық күштерді немесе басқаларды қолданатын стохастикалық микро жинақ.

 

- микромеханикалық бекітпелерді қолдану

 

- Жабысқақ микромеханикалық бекіту

 

 

 

Кейбір әмбебап ерекше микрожинақтау және орау әдістерін толығырақ қарастырайық.

 

 

 

ҚОЛМЕН МИКРО ҚҰРАСТЫРУ ЖӘНЕ ОРАМАЛУ: Қолмен орындалатын операциялар қымбат болуы мүмкін және мұндай миниатюралық бөлшектерді микроскоп астында құрастырумен байланысты көзге ауыртпалық пен ептілік шектеулеріне байланысты оператор үшін мүмкін болмайтын дәлдік деңгейін талап етеді. Дегенмен, шағын көлемді арнайы қолданбалар үшін қолмен микро жинақтау ең жақсы нұсқа болуы мүмкін, себебі ол міндетті түрде автоматтандырылған микро жинақтау жүйелерін жобалау мен салуды қажет етпейді.

 

 

 

АВТОМАТТАНДЫРЫЛҒАН МИКРО ЖИНАУ ЖӘНЕ ҚАРАУ: Біздің микро жинақтау жүйелеріміз микро машина технологиялары үшін жаңа қолданбаларды әзірлеуге мүмкіндік беретін құрастыруды жеңілдету және үнемді ету үшін жасалған. Біз роботтық жүйелерді пайдаланып микрон деңгейіндегі өлшемдердегі құрылғылар мен компоненттерді микро жинақтай аламыз. Міне, біздің автоматтандырылған микро жинақтау және орау жабдықтары мен мүмкіндіктерінің кейбірі:

 

 

 

• Нанометриялық позиция ажыратымдылығы бар роботтық жұмыс ұяшығын қоса, қозғалысты басқарудың жоғары деңгейі

 

• Микро жинақтау үшін толық автоматтандырылған CAD-мен басқарылатын жұмыс ұяшықтары

 

• Әртүрлі үлкейтулер мен өріс тереңдіктері (DOF) кезінде кескінді өңдеу процедураларын сынау үшін CAD сызбаларынан синтетикалық микроскоп кескіндерін жасау үшін Фурье оптикалық әдістері

 

• Дәл микро жинақтау және орау үшін микро пинцеттерді, манипуляторларды және жетектерді тапсырыс бойынша жобалау және өндіру мүмкіндігі

 

• Лазерлік интерферометрлер

 

• Күшті кері байланыс үшін тензометрлер

 

• Бөлшектерді микро теңестіру және микро жинақтау үшін серво механизмдер мен қозғалтқыштарды басқару үшін нақты уақыттағы компьютерлік көру

 

• Сканерлеуші электрондық микроскоптар (SEM) және трансмиссиялық электрондық микроскоптар (TEM)

 

• 12 еркіндік дәрежесі наноманипулятор

 

 

 

Біздің автоматтандырылған микро құрастыру процессіміз бір қадамда бірнеше тісті доңғалақтарды немесе басқа компоненттерді бірнеше посттарға немесе орындарға орналастыра алады. Біздің микроманипуляция мүмкіндіктеріміз орасан зор. Біз сізге стандартты емес ерекше идеялармен көмектесу үшін осындамыз.

 

 

 

МИКРО ЖӘНЕ НАНО ӨЗІМЕН ЖИНАУ ӘДІСТЕРІ: Өзін-өзі құрастыру процестерінде бұрыннан бар құрамдас бөліктердің ретсіз жүйесі сыртқы бағытсыз құрамдастардың арасындағы нақты, жергілікті өзара әрекеттесу нәтижесінде ұйымдасқан құрылымды немесе үлгіні құрайды. Өздігінен құрастырылатын құрамдас бөліктер тек жергілікті өзара әрекеттесуді сезінеді және әдетте олардың біріктіру жолын реттейтін қарапайым ережелер жинағына бағынады. Бұл құбылыс масштабтан тәуелсіз және дерлік барлық масштабта өзін-өзі құру және өндіру жүйелері үшін пайдаланылуы мүмкін болса да, біздің назарымыз микро өздігінен құрастыру және нано өздігінен құрастыру болып табылады. Микроскопиялық құрылғыларды құру үшін ең перспективалы идеялардың бірі - өздігінен құрастыру процесін пайдалану. Күрделі құрылымдар табиғи жағдайда құрылыс блоктарын біріктіру арқылы жасалуы мүмкін. Мысал келтіру үшін микрокомпоненттердің бірнеше партиясын бір субстратқа микро жинақтау әдісі белгіленген. Субстрат гидрофобты жабынды алтынмен байланыстыратын орындармен дайындалады. Микро жинақтауды орындау үшін субстратқа көмірсутекті май жағылады және судағы тек гидрофобты байланыстыратын жерлерді ылғалдандырады. Содан кейін микрокомпоненттер суға қосылады және маймен суланған байланыстыратын жерлерге жиналады. Одан да микро жинақты арнайы субстратты байланыстыру орындарын өшіру үшін электрохимиялық әдісті қолдану арқылы қажетті байланыстыру орындарында орын алу үшін басқаруға болады. Бұл әдісті бірнеше рет қолдану арқылы микро компоненттердің әртүрлі партияларын бір субстратқа дәйекті түрде жинауға болады. Микрожинақтау процедурасынан кейін микро жинақталған құрамдас бөліктерге электрлік қосылымдарды орнату үшін электроплантация орындалады.

 

 

 

СТОХАСТИКАЛЫҚ МИКРО ЖИНАУ: Бөлшектер бір уақытта жиналған параллельді микро жинақта детерминирленген және стохастикалық микро жинақ бар. Детерминирленген микро жинақта бөлік пен оның субстратта тағайындалған орны арасындағы байланыс алдын ала белгілі. Екінші жағынан, стохастикалық микро жинақта бұл қатынас белгісіз немесе кездейсоқ емес. Бөлшектер қандай да бір қозғаушы күшпен басқарылатын стохастикалық процестерде өздігінен жиналады. Микро өзін-өзі құрастыру орын алу үшін байланыстыру күштері болуы керек, байланыстыру таңдамалы түрде болуы керек және микро құрастыру бөліктері бір-бірімен жиналуы үшін қозғала алуы керек. Стохастикалық микро жинақтау бірнеше рет тербелістермен, электростатикалық, микрофлюидтік немесе компоненттерге әсер ететін басқа күштермен бірге жүреді. Стохастикалық микро жинақтау әсіресе құрылыс блоктары кішірек болғанда пайдалы, себебі жеке құрамдастарды өңдеу қиынырақ болады. Стохастикалық өздігінен құрастыруды табиғатта да байқауға болады.

 

 

 

МИКРОМЕХАНИКАЛЫҚ БЕКІТУШІЛЕР: Микро масштабта бұрандалар мен топсалар сияқты бекіткіштердің әдеттегі түрлері қазіргі өндіріс шектеулеріне және үлкен үйкеліс күштеріне байланысты оңай жұмыс істемейді. Екінші жағынан, микро бекіткіштер микро құрастыру қолданбаларында оңайырақ жұмыс істейді. Шағын бекіткіштер - микро құрастыру кезінде бір-біріне жабысатын жұп беттерден тұратын деформацияланатын құрылғылар. Қарапайым және сызықты құрастыру қозғалысына байланысты бекіткіштер микро жинақтау операцияларында кең ауқымды қолданбаларға ие, мысалы, көп немесе қабатты компоненттері бар құрылғылар немесе микро опто-механикалық штепсельдер, жады бар сенсорлар. Басқа микро құрастыру бекіткіштері «кілт-құлып» қосылыстары және «құлып аралық» қосылыстар болып табылады. Кілттерді бекіту қосылыстары бір микро бөліктегі «кілт» басқа микро бөліктегі түйісетін ұяшыққа кірістіруден тұрады. Орнына бекіту бірінші микро бөлікті екіншісіне аудару арқылы жүзеге асырылады. Құлып аралық қосылыстар бір микробөлшекті саңылауы бар, екінші микробөлшекке саңылауы бар перпендикуляр енгізу арқылы жасалады. Саңылаулар кедергі жасайды және микро бөлшектер біріктірілгеннен кейін тұрақты болады.

 

 

 

ЖЕЛІМДІ МИКРОМЕХАНИКАЛЫҚ БЕКІТУ: Жабысқақ механикалық бекіту 3D микро құрылғыларын жасау үшін қолданылады. Бекіту процесі өздігінен теңестіру механизмдерін және жабысқақ байланыстыруды қамтиды. Орналасу дәлдігін арттыру үшін желім микро жинақта өздігінен туралау механизмдері орналастырылған. Роботтық микроманипуляторға жалғанған микро зонд желімді мақсатты орындарға алып, дәл салады. Күту жарығы желімді қатайтады. Кептірілген желім микро жинақталған бөлшектерді өз орындарында ұстайды және күшті механикалық қосылыстарды қамтамасыз етеді. Өткізгіш желім арқылы сенімді электр байланысын алуға болады. Жабысқақ механикалық бекіту тек қарапайым операцияларды қажет етеді және автоматты микрожинақтауда маңызды болып табылатын сенімді қосылымдар мен жоғары орналасу дәлдігіне әкелуі мүмкін. Бұл әдістің орындылығын көрсету үшін көптеген үш өлшемді MEMS құрылғылары микро жинақталған, соның ішінде 3D айналмалы оптикалық қосқыш.