Lîtografya nerm

SOFT LITHOGRAPHY  têgehek e ku ji bo çend pêvajoyên ji bo veguheztina nimûneyê tê bikar anîn. Di hemî rewşan de qalibek master hewce ye û bi karanîna rêbazên lîtografî yên standard tê mîkrofabrîk kirin. Bi karanîna qalibê masterê, em nîgarek / stampek elastomeric çêdikin ku di lîtografiya nerm de were bikar anîn. Elastomerên ku ji bo vê armancê têne bikar anîn hewce ne ku ji hêla kîmyewî ve bêhêz bin, xwedan îstîqrara germî, hêz, domdarî, taybetmendiyên rûkalê baş bin û hîgroskopî bin. Lastîka silicone û PDMS (Polydimethylsiloxane) du materyalên berendamê baş in. Di lîtografiya nerm de ev stamp dikarin gelek caran werin bikar anîn.

 

 

 

Yek guhertoya lîtografiya nerm ÇAPKIRINA MICROCONTACT e. Mohra elastomer bi mîkrokê tê pêçandin û li ser rûyekî tê pêçandin. Pîskên nimûneyê bi rûxê re têkilî dikin û qatek zirav ya bi qasî 1 yek tebeqeya mîkrokê tê veguheztin. Ev monolayera fîlima zirav wekî maskek ji bo xêzkirina şil a hilbijartî tevdigere.

 

 

 

Guhertoya duyemîn a MICROTRANSFER MOLDING e, ku tê de hêlînên qalibê elastomer bi pêşgira polîmera şil tê dagirtin û li ser rûxeyek tê kişandin. Dema ku polîmer piştî şilkirina mîkrotransferê sax bibe, em qalibê jê diqetînin, li dû xwe şêwaza xwestinê dihêlin.

 

 

 

Di dawiyê de guhertoyek sêyemîn e MICROMOLDING DI KAPILARIYAN DE, ku li wê derê qalibê stampa elastomer ji kanalan pêk tê ku hêzên kapîlar bikar tînin da ku polîmerek şil ji milê xwe ve bixin nav morê. Di bingeh de, mîqdarek piçûk a polîmera şil li tenişta kanalên kapilaran tê danîn û hêzên kapîlar şilê dikişînin nav kanalan. Polîmera şil a zêde tê rakirin û polîmera di hundurê kanalan de tê hiştin ku were sax kirin. Qalibê stampê tê jêkirin û hilber amade ye. Ger rêjeya dîmenê kanalê nerm be û pîvanên kanalê yên destûrkirî bi şikilê hatî bikar anîn ve girêdayî ye, dubarekirina nimûneya baş dikare were piştrast kirin. Avêra ku di mîkroformasyonê de di kapilaran de tê bikar anîn dikare bibe polîmerên termosetker, sol-gela seramîk an suspensionên hişk ên di nav halên şil de. Teknolojiya mîkroformê ya di kapîlaran de di hilberîna senzorê de hatî bikar anîn.

 

 

 

Lîtografiya nerm ji bo avakirina taybetmendiyên ku li ser pîvana mîkrometre heya nanometer têne pîvandin tê bikar anîn. Lîtografiya nerm li ser formên din ên lîtografiyê yên wekî fotolîtografî û lîtografiya tîrêjê elektronîkî xwedî avantajên xwe hene. Avantajên jêrîn hene:

 

• Di hilberîna girseyî de ji fotolîtografya kevneşopî mesrefa kêmtir

 

• Minasib ji bo sepanên biyoteknolojî û elektronîk plastîk

 

• Minasib ji bo sepanên ku rûberên mezin an neplanar (neflat) ve girêdayî ne

 

• Lîtografiya nerm ji teknîkên lîtografî yên kevneşopî bêtir rêbazên veguheztina nimûneyan pêşkêşî dike (bêtir vebijarkên ''malê'')

 

• Ji bo çêkirina nanostrukturan lîtografiya nerm hewcedarî rûberek fotoreaktîf nîne

 

• Bi lîtografiya nerm em dikarin di mîhengên laboratîfê de ji fotolîtografiyê hûrguliyên piçûktir bi dest bixin (~30 nm beramberî ~100 nm). Çareserkirin bi maskeya hatî bikar anîn ve girêdayî ye û dikare bigihîje nirxan heya 6 nm.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY pêvajoyek çêkirinê ye ku tê de jûreyên mîkroskopî, kanal, valves û rêçikan di nav tebeqeyên girêdayi yên elastomeran de têne çêkirin. Bi karanîna amûrên lîtografî yên nerm ên pirreng ku ji pir tebeqan pêk tê dibe ku ji materyalên nerm werin çêkirin. Nermbûna van materyalan dihêle ku deverên cîhazê li gorî amûrên bingehîn ên sîlîkonê ji du rêzan zêdetir kêm bibin. Awantajên din ên lîtografiya nerm, wekî prototîpkirina bilez, hêsankirina çêkirinê, û biyolojîkî, di lîtografiya nerm a pirreng de jî derbasdar in. Em vê teknîkê bikar tînin da ku pergalên mîkrofluîdîk ên çalak bi valvesên ser-off, valves guheztin, û pompeyên bi tevahî ji elastomers ava bikin.