Жумшак литография

SOFT LITHOGRAPHY  — үлгү өткөрүп берүү үчүн бир катар процесстер үчүн колдонулган термин. Мастер калып бардык учурларда керек жана стандарттуу литография ыкмаларын колдонуу менен микрофабрикацияланат. Мастер калыпты колдонуу менен биз жумшак литографияда колдонула турган эластомердик үлгүнү / штампты чыгарабыз. Бул максатта колдонулуучу эластомерлер химиялык жактан инерттүү, жакшы термикалык туруктуулукка, бекемдикке, бекемдикке, беттик касиеттерге ээ жана гигроскопиялык болушу керек. Силикон резина жана PDMS (Polydimethylsiloxane) эки жакшы талапкер материалдар болуп саналат. Бул штамптар жумшак литографияда көп жолу колдонулушу мүмкүн.

 

 

 

Жумшак литографиянын бир варианты болуп саналат MICROCONTACT PRINTING. Эластомердик штамп сыя менен капталган жана бетине басылган. Үлгү чокулары бети менен байланышып, сыянын болжол менен 1 катмарынын жука катмары өткөрүлүп берилет. Бул жука пленка бир катмары тандап нымдуу оюу үчүн маска катары иштейт.

 

 

 

Экинчи вариация – бул MICROTRANSFER MOLDING, мында эластомердик калыптын оюктары суюк полимер прекурсору менен толтурулат жана бетке түртүлөт. Полимер микротрансфердик формалоодон кийин айыккандан кийин, биз калыптын кабыгын чечип, каалаган үлгүнү калтырабыз.

 

 

 

Акыр-аягы, үчүнчү вариация болуп саналат КАПИЛЛЯРЛАРДАГЫ MICROMOLDING, мында эластомердик штамптын үлгүсү суюк полимерди капталынан штампка соруу үчүн капиллярдык күчтөрдү колдонгон каналдардан турат. Негизинен, суюк полимердин бир аз көлөмү капиллярдык каналдарга жанаша жайгаштырылат жана капиллярдык күчтөр суюктукту каналдарга тартат. Ашыкча суюк полимер алынып салынат жана каналдардын ичиндеги полимер айыгууга уруксат берилет. Штамптын калыпы сыйрылып, продукт даяр. Эгерде каналдын аспектинин катышы орточо болсо жана каналдын өлчөмдөрү колдонулган суюктукка жараша болсо, үлгүнүн жакшы кайталанышына кепилдик берүүгө болот. Капиллярларда микромолдодо колдонулган суюктук термостатуучу полимерлер, керамикалык золь-гель же суюк эриткичтердин ичиндеги катуу заттардын суспензиялары болушу мүмкүн. Капиллярлардагы микромолдинг техникасы сенсорлорду өндүрүүдө колдонулган.

 

 

 

Жумшак литография микрометрден нанометрге чейинки масштабда өлчөнгөн өзгөчөлүктөрдү куруу үчүн колдонулат. Жумшак литография фотолитография жана электрондук нур литографиясы сыяктуу литографиянын башка формаларына караганда артыкчылыктарга ээ. Артыкчылыктарга төмөнкүлөр кирет:

 

• Салттуу фотолитографияга караганда массалык өндүрүштүн баасы төмөн

 

• Биотехнологияда жана пластик электроникасында колдонууга ылайыктуу

 

• Чоң же тегиз эмес (тегиз эмес) беттерди камтыган колдонмолорго ылайыктуу

 

• Жумшак литография салттуу литография ыкмаларына караганда үлгү өткөрүүнүн көбүрөөк ыкмаларын сунуштайт (""сыя"" варианттары көбүрөөк)

 

• Жумшак литография наноструктураларды түзүү үчүн фотореактивдүү бетке муктаж эмес

 

• Жумшак литография менен биз лабораториялык шарттарда фотолитографияга караганда кичине деталдарга жетише алабыз (~30 нм vs ~100 нм). Чечим колдонулган маскадан көз каранды жана 6 нмге чейин чоңдуктарга жетиши мүмкүн.

 

 

 

КӨП КАТТЫ ЖУМшак LITHOGRAPHY  бул микроскопиялык камералар, каналдар, клапандар жана веналар эластомерлердин бириктирилген катмарларынын ичинде калыптанган өндүрүш процесси. Бир нече катмардан турган көп катмарлуу жумшак литография аппараттарын колдонуу менен жумшак материалдардан жасоого болот. Бул материалдардын жумшактыгы кремний негизиндеги аппараттар менен салыштырганда аппараттын аймактарын эки эседен ашык кыскартууга мүмкүндүк берет. Жумшак литографиянын башка артыкчылыктары, мисалы, тез прототиптөө, жасоонун жөнөкөйлүгү жана био шайкештик, көп катмарлуу жумшак литографияда да жарактуу. Бул ыкманы биз толугу менен эластомерлерден күйгүзүүчү клапандары, коммутаторлору жана насостору бар активдүү микрофлюиддик системаларды куруу үчүн колдонобуз.