Lithography malefaka

SOFT LITHOGRAPHY dia teny ampiasaina ho an'ny dingana maromaro amin'ny famindrana lamina. Ilaina ny lasitra lehibe amin'ny toe-javatra rehetra ary vita amin'ny microfabricated amin'ny alàlan'ny fomba lithography mahazatra. Amin'ny fampiasana ny lasitra master, dia mamokatra lamina / hajia elastomerika hampiasaina amin'ny lithography malefaka. Ny elastomers ampiasaina amin'io tanjona io dia mila tsy misy simika simika, manana fitoniana mafana tsara, tanjaka, faharetana, fananana ambonin'ny tany ary hygroscopic. Ny fingotra silicone sy ny PDMS (Polydimethylsiloxane) dia fitaovana roa tsara ho an'ny kandidà. Ireo hajia ireo dia azo ampiasaina imbetsaka amin'ny lithography malefaka.

 

 

 

Ny karazany iray amin'ny lithography malefaka dia MICROCONTACT PRINTING. Ny tombo-kase elastomer dia rakotra ranomainty ary tsindriana amin'ny faritra iray. Ny tampon'ny lamina dia mifandray amin'ny tany ary misy sosona manify eo amin'ny 1 monolayer amin'ny ranomainty dia afindra. Ity monolayer film manify ity dia toy ny saron-tava ho an'ny etching mando mifantina.

 

 

 

Ny fiovaovana faharoa dia MICROTRANSFER MOULDING, izay feno ny lasitra elastomera ranon-javatra mialoha sy manosika amin'ny tany. Raha vantany vao sitrana ny polymère taorian'ny famolavolana microtransfer, dia esorinay ny bobongolo, ary namela ny lamina irina.

 

 

 

Farany ny fiovaovana fahatelo dia MICROMOLDING IN CAPILLARIES, izay misy ny lamina fitomboka elastomer misy fantsona izay mampiasa hery kapila mba handrodana polymère ranon-javatra ao anaty hajia avy amin'ny sisiny. Amin'ny ankapobeny, misy ampahany kely amin'ny polymère ranoka apetraka eo akaikin'ny fantsona kapila ary ny herin'ny kapila dia misintona ny rano ao anaty fantsona. Esorina ny polymère misy rano be loatra ary avela hitsabo ny polymère ao anaty fantsona. Esorina ny lasitra fitomboka ary efa vonona ny vokatra. Raha antonony ny tahan'ny lafin'ny fantsona ary miankina amin'ny ranon-javatra ampiasaina ny refin'ny fantsona azo antoka, azo antoka ny famerenan'ny lamina tsara. Ny ranon-javatra ampiasaina amin'ny micromolding amin'ny capillaries dia mety ho polymers thermosetting, sol-gel seramika na fampiatoana ny solida ao anaty solvents. Ny micromolding amin'ny teknika capillaries dia nampiasaina tamin'ny famokarana sensor.

 

 

 

Ny lithography malefaka dia ampiasaina hanamboarana endri-javatra refesina amin'ny micrometer ka hatramin'ny nanometer. Ny lithography malefaka dia manana tombony amin'ny endrika lithography hafa toy ny photolithography sy ny lithography beam electron. Ny tombony dia ahitana ireto manaraka ireto:

 

• Vidiny ambany kokoa amin'ny famokarana faobe noho ny photolithography nentim-paharazana

 

• Mety amin'ny fampiharana amin'ny bioteknolojia sy elektronika plastika

 

• Mety amin'ny fampiharana amin'ny faritra lehibe na tsy planar (tsy fisaka).

 

• Ny litografia malefaka dia manolotra fomba famindrana lamina kokoa noho ny teknika litografia nentim-paharazana (safidy ''mainty'' maro kokoa)

 

• Ny lithografie malefaka dia tsy mila sehatra misy sary mihetsika mba hamoronana nanostructures

 

• Amin'ny lithography malefaka dia afaka mahazo antsipiriany kely kokoa noho ny photolithography amin'ny laboratoara (~ 30 nm vs ~ 100 nm). Ny fanapahan-kevitra dia miankina amin'ny saron-tava ampiasaina ary mety hahatratra ny sanda hatramin'ny 6 nm.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY dia fizotry ny fanamboarana izay amboarina ao anatin'ny soson'ny elastomer ny efi-trano mikraoba, fantsona, valva ary vias. Ny fampiasana fitaovana lithography malefaka multilayer misy sosona maromaro dia azo noforonina avy amin'ny fitaovana malefaka. Ny halemin'ireo fitaovana ireo dia mamela ny faritra misy fitaovana hihena amin'ny halehiben'ny halehiben'ny roa raha oharina amin'ny fitaovana mifototra amin'ny silisiôma. Ny tombony hafa amin'ny lithography malefaka, toy ny prototyping haingana, ny fanamorana ny fanamboarana ary ny biocompatibility, dia manan-kery ihany koa amin'ny lithography malefaka multilayer. Mampiasa ity teknika ity izahay mba hananganana rafitra mikraoba mavitrika miaraka amin'ny valva mandehandeha, valva mifamadika, ary paompy avy amin'ny elastomera.