Soft Lithography

SOFT LITHOGRAPHY  သည် ပုံစံလွှဲပြောင်းခြင်းအတွက် လုပ်ငန်းစဉ်များစွာအတွက် အသုံးပြုသည့် ဝေါဟာရတစ်ခုဖြစ်သည်။ နေရာတိုင်းတွင် မာစတာမှိုတစ်ခု လိုအပ်ပြီး စံပြုနည်းများကို အသုံးပြု၍ microfabricated ပြုလုပ်ထားသည်။ မာစတာမှိုကိုအသုံးပြု၍ ပျော့ပျောင်းသောပုံသဏ္ဍာန်တွင်အသုံးပြုရန် elastomeric ပုံစံ/တံဆိပ်တုံးကို ထုတ်လုပ်ပါသည်။ ဤရည်ရွယ်ချက်အတွက်အသုံးပြုသည့် Elastomers များသည် ဓာတုဗေဒနည်းအရ အားနည်းနေရန် လိုအပ်ပြီး၊ ကောင်းသော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ခိုင်ခံ့မှု၊ တာရှည်ခံမှု၊ မျက်နှာပြင်ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် hygroscopic ဖြစ်ရန် လိုအပ်သည်။ ဆီလီကွန်ရော်ဘာ နှင့် PDMS (Polydimethylsiloxane) သည် ကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းများဖြစ်သည်။ ဤတံဆိပ်ခေါင်းများကို soft lithography တွင် အကြိမ်များစွာ အသုံးပြုနိုင်သည်။

 

 

 

ပျော့ပျောင်းသောပုံသဏ္ဍာန်၏ မူကွဲတစ်မျိုးမှာ MICROCONTACT PRINTING။ elastomer တံဆိပ်တုံးကို မှင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားပြီး မျက်နှာပြင်ကို ဖိထားသည်။ ပုံစံအထွတ်အထိပ်သည် မျက်နှာပြင်ကို ထိတွေ့ပြီး မင်၏ မိုနီအလွှာ 1 ခန့်၏ ပါးလွှာသော အလွှာကို လွှဲပြောင်းသည်။ ဤပါးလွှာသော ဖလင်မိုနီလွှာသည် ရွေးချယ်ထားသော စိုစွတ်သော etching အတွက် မျက်နှာဖုံးအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။

 

 

 

elastomer မှို၏အောက်ပိုင်းများတွင် အရည်ပိုလီမာရှေ့ပြေးဆာဖြင့် ပြည့်နေပြီး မျက်နှာပြင်တစ်ခုသို့ တွန်းချသည့် ဒုတိယပုံစံမှာ MICROTRANSFER MOLDING ဖြစ်သည်။ မိုက်ခရိုလွှဲပြောင်းပုံသွင်းပြီးနောက် ပိုလီမာသည် ပျောက်ကင်းသွားသည်နှင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် မှိုကို အခွံခွာကာ လိုချင်သောပုံစံကို ချန်ထားခဲ့သည်။

 

 

 

နောက်ဆုံး တတိယပုံစံမှာ MICROMOLDING IN CAPILLARIES ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းတွင် elastomer တံဆိပ်ခေါင်းပုံစံတွင် သွေးကြောမျှင်အင်အားစုများကို အသုံးပြုထားသည့် လိုင်းများပါရှိသော အရည်ပိုလီမာကို တံဆိပ်ခေါင်းထဲသို့ ကပ်ရန် လမ်းကြောင်းများပါရှိသည်။ အခြေခံအားဖြင့်၊ သေးငယ်သောပိုလီမာအရည်ပမာဏကို ဆံချည်မျှင်လမ်းကြောင်းများနှင့် ကပ်လျက်ထားရှိပြီး သွေးကြောမျှင်တပ်များသည် အရည်ကို လမ်းကြောင်းများထဲသို့ ဆွဲထုတ်သည်။ ပိုလီမာအရည်များကို ဖယ်ရှားပြီး လမ်းကြောင်းများအတွင်းရှိ ပိုလီမာများကို ကုသရန် ခွင့်ပြုထားသည်။ တံဆိပ်ခေါင်းမှိုကို ခွာပြီး ထုတ်ကုန်အဆင်သင့်ဖြစ်ပါပြီ။ ချန်နယ်အချိုးအစားသည် အလယ်အလတ်ဖြစ်ပြီး ခွင့်ပြုထားသော ချန်နယ်အတိုင်းအတာများသည် အသုံးပြုထားသည့် အရည်ပေါ်မူတည်ပါက၊ ပုံစံကောင်းပုံတူကူးချခြင်းကို စိတ်ချနိုင်ပါသည်။ သွေးကြောမျှင်များအတွင်း မိုက်ခရိုမှိုထည့်ခြင်းတွင် အသုံးပြုသည့်အရည်သည် အပူချိန်ထိန်းပိုလီမာများ၊ ကြွေထည်ဆားဂျယ် သို့မဟုတ် အရည်ပျော်ရည်များအတွင်းရှိ အခဲများကို ဆိုင်းငံ့ထားနိုင်သည်။ သွေးကြောမျှင်များအတွင်း micromolding နည်းပညာကို အာရုံခံကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးပြုခဲ့သည်။

 

 

 

Soft lithography ကို မိုက်ခရိုမီတာမှ နာနိုမီတာစကေးတွင် တိုင်းတာသည့် အင်္ဂါရပ်များကို တည်ဆောက်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။ Soft lithography သည် photolithography နှင့် electron beam lithography ကဲ့သို့သော အခြားသော lithography ပုံစံများထက် အားသာချက်များရှိသည်။ အားသာချက်များမှာ အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်။

 

• သမားရိုးကျ ဓာတ်ပုံရိုက်ဓါတ်ပုံရိုက်ခြင်းထက် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုတွင် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသည်။

 

• ဇီဝနည်းပညာနှင့် ပလတ်စတစ် အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်မှု

 

• ကြီးမားသော သို့မဟုတ် ပလာနာ (nonflat) မျက်နှာပြင်များပါ၀င်သော အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်မှု

 

• Soft lithography သည် သမားရိုးကျ ပုံသဏ္ဍာန်နည်းပညာများထက် ပုံစံ-လွှဲပြောင်းခြင်းနည်းလမ်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည် ('မင်' ရွေးချယ်စရာများပိုများသည်)

 

• ပျော့ပျောင်းသောပုံသဏ္ဍာန်သည် နာနိုဖွဲ့စည်းပုံများကိုဖန်တီးရန် ဓာတ်ပုံ-ဓာတ်ပြုမျက်နှာပြင် မလိုအပ်ပါ။

 

• ပျော့ပျောင်းသော lithography ဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် ဓာတ်ခွဲခန်းဆက်တင်များတွင် photolithography (~30 nm vs ~100 nm) ထက်အသေးစိတ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များကိုရရှိနိုင်ပါသည်။ ကြည်လင်ပြတ်သားမှုသည် အသုံးပြုထားသော mask ပေါ်တွင်မူတည်ပြီး တန်ဖိုးများကို 6 nm အထိရောက်ရှိနိုင်သည်။

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY သည် အဏုကြည့်အခန်းများ၊ ချန်နယ်များ၊ အဆို့ရှင်များနှင့် ဆင့်များကို elastomers ၏ အလွှာများအတွင်း ပုံသွင်းသည့် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ Multilayer soft lithography ကိရိယာများကို အသုံးပြု၍ အလွှာများစွာပါဝင်သော ပျော့ပျောင်းသောပစ္စည်းများမှ ဖန်တီးထုတ်လုပ်နိုင်ပါသည်။ ဤပစ္စည်းများ၏ ပျော့ပျောင်းမှုသည် ဆီလီကွန်အခြေခံ စက်ပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက စက်ဧရိယာများကို ပြင်းအား နှစ်ခုထက်ပို၍ လျှော့ချနိုင်စေပါသည်။ လျင်မြန်သောပုံတူပုံတူရိုက်ခြင်း၊ ထုလုပ်ရလွယ်ကူခြင်းနှင့် ဇီဝလိုက်ဖက်ညီမှုကဲ့သို့သော ပျော့ပျောင်းသော lithography ၏အခြားအားသာချက်များသည် multilayer soft lithography တွင်လည်း အကျုံးဝင်ပါသည်။ အဖွင့်အပိတ်အဆို့ရှင်များ၊ အဆို့ရှင်များပြောင်းခြင်းနှင့် အီလက်စတိုမာများမှ လုံးလုံးလျားလျား ပန့်များပါသည့် တက်ကြွသော microfluidic စနစ်များကို တည်ဆောက်ရန် ဤနည်းပညာကို ကျွန်ုပ်တို့အသုံးပြုပါသည်။