ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ

SOFT LITHOGRAPHY  ਇੱਕ ਸ਼ਬਦ ਹੈ ਜੋ ਪੈਟਰਨ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਲਈ ਕਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਾਰੇ ਮਾਮਲਿਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਾਸਟਰ ਮੋਲਡ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮਿਆਰੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਿਧੀਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਫੈਬਰੀਕੇਟ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਮਾਸਟਰ ਮੋਲਡ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਅਸੀਂ ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਲਈ ਇੱਕ ਇਲਾਸਟੋਮੇਰਿਕ ਪੈਟਰਨ / ਸਟੈਂਪ ਤਿਆਰ ਕਰਦੇ ਹਾਂ। ਇਸ ਮੰਤਵ ਲਈ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਇਲਾਸਟੋਮਰਾਂ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅੜਿੱਕਾ, ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ, ਤਾਕਤ, ਟਿਕਾਊਤਾ, ਸਤਹ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਹਾਈਗ੍ਰੋਸਕੋਪਿਕ ਹੋਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕੋਨ ਰਬੜ ਅਤੇ PDMS (Polydimethylsiloxane) ਦੋ ਵਧੀਆ ਉਮੀਦਵਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ। ਇਹਨਾਂ ਸਟੈਂਪਾਂ ਨੂੰ ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਿੱਚ ਕਈ ਵਾਰ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।

 

 

 

ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਹੈ MICROCONTACT ਪ੍ਰਿੰਟਿੰਗ। ਇਲਾਸਟੋਮਰ ਸਟੈਂਪ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਿਆਹੀ ਨਾਲ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਤਹ ਦੇ ਨਾਲ ਦਬਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪੈਟਰਨ ਦੀਆਂ ਚੋਟੀਆਂ ਸਤ੍ਹਾ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਸਿਆਹੀ ਦੇ ਲਗਭਗ 1 ਮੋਨੋਲੇਇਰ ਦੀ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਮੋਨੋਲਾਇਰ ਚੋਣਵੇਂ ਗਿੱਲੀ ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਮਾਸਕ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ।

 

 

 

ਇੱਕ ਦੂਸਰੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਹੈ MICROTRANSFER ਮੋਲਡਿੰਗ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਇਲਾਸਟੋਮਰ ਮੋਲਡ ਦੇ ਰੀਸੈਸਸ ਤਰਲ ਪੌਲੀਮਰ ਪੂਰਵਦਰਸ਼ਕ ਨਾਲ ਭਰੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਤਹ ਦੇ ਵਿਰੁੱਧ ਧੱਕੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਮਾਈਕ੍ਰੋਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਮੋਲਡਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਪੌਲੀਮਰ ਠੀਕ ਹੋਣ 'ਤੇ, ਅਸੀਂ ਲੋੜੀਂਦੇ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਛੱਡ ਕੇ, ਉੱਲੀ ਨੂੰ ਛਿੱਲ ਦਿੰਦੇ ਹਾਂ।

 

 

 

ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਤੀਜੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਹੈ ਕੈਪਿਲਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੋਲਡਿੰਗ, ਜਿੱਥੇ ਇਲਾਸਟੋਮਰ ਸਟੈਂਪ ਪੈਟਰਨ ਵਿੱਚ ਉਹ ਚੈਨਲ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਇੱਕ ਤਰਲ ਪੋਲੀਮਰ ਨੂੰ ਇਸਦੇ ਪਾਸੇ ਤੋਂ ਸਟੈਂਪ ਵਿੱਚ ਜੋੜਨ ਲਈ ਕੇਸ਼ਿਕਾ ਬਲਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਤਰਲ ਪੌਲੀਮਰ ਦੀ ਇੱਕ ਛੋਟੀ ਜਿਹੀ ਮਾਤਰਾ ਕੇਸ਼ਿਕਾ ਚੈਨਲਾਂ ਦੇ ਨੇੜੇ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕੇਸ਼ਿਕਾ ਬਲ ਤਰਲ ਨੂੰ ਚੈਨਲਾਂ ਵਿੱਚ ਖਿੱਚ ਲੈਂਦੇ ਹਨ। ਵਾਧੂ ਤਰਲ ਪੌਲੀਮਰ ਨੂੰ ਹਟਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਚੈਨਲਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਪੋਲੀਮਰ ਨੂੰ ਠੀਕ ਕਰਨ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਦਿੱਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਟੈਂਪ ਮੋਲਡ ਨੂੰ ਛਿੱਲ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਤਿਆਰ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਚੈਨਲ ਦਾ ਆਕਾਰ ਅਨੁਪਾਤ ਮੱਧਮ ਹੈ ਅਤੇ ਚੈਨਲ ਦੇ ਮਾਪ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਦਿੱਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਤਾਂ ਵਰਤੇ ਗਏ ਤਰਲ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਚੰਗੀ ਪੈਟਰਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਤੀ ਦਾ ਭਰੋਸਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਕੇਸ਼ੀਲਾਂ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੋਲਡਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਥਰਮੋਸੈਟਿੰਗ ਪੋਲੀਮਰ, ਸਿਰੇਮਿਕ ਸੋਲ-ਜੈੱਲ ਜਾਂ ਤਰਲ ਘੋਲਨ ਵਿੱਚ ਠੋਸ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦਾ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੋਲਡਿੰਗ ਇਨ ਕੈਪਿਲਰੀ ਤਕਨੀਕ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸੈਂਸਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ।

 

 

 

ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰ ਤੋਂ ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਪੈਮਾਨੇ 'ਤੇ ਮਾਪੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੇ ਹੋਰ ਰੂਪਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਬੀਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ। ਫਾਇਦਿਆਂ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

 

• ਰਵਾਇਤੀ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਨਾਲੋਂ ਵੱਡੇ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ ਘੱਟ ਲਾਗਤ

 

• ਬਾਇਓਟੈਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਪਲਾਸਟਿਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਵਿੱਚ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਤਾ

 

• ਵੱਡੀਆਂ ਜਾਂ ਗੈਰ-ਪਲੈਨਰ (ਨਾਨ ਫਲੈਟ) ਸਤਹਾਂ ਨੂੰ ਸ਼ਾਮਲ ਕਰਨ ਵਾਲੀਆਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਤਾ

 

• ਸੌਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਰਵਾਇਤੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਤਕਨੀਕਾਂ (ਵਧੇਰੇ ''ਸਿਆਹੀ'' ਵਿਕਲਪ) ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਪੈਟਰਨ-ਤਬਾਦਲਾ ਕਰਨ ਦੀਆਂ ਵਿਧੀਆਂ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ।

 

• ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਨੂੰ ਨੈਨੋਸਟ੍ਰਕਚਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਫੋਟੋ-ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਤਹ ਦੀ ਲੋੜ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ

 

• ਨਰਮ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਨਾਲ ਅਸੀਂ ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਸੈਟਿੰਗਾਂ (~30 nm ਬਨਾਮ ~ 100 nm) ਵਿੱਚ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਨਾਲੋਂ ਛੋਟੇ ਵੇਰਵੇ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ। ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ ਵਰਤੇ ਗਏ ਮਾਸਕ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮੁੱਲ 6 nm ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦਾ ਹੈ।

 

 

 

ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ  ਇੱਕ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪਿਕ ਚੈਂਬਰ, ਚੈਨਲ, ਵਾਲਵ ਅਤੇ ਵਿਅਸ ਇਲਾਸਟੋਮਰਾਂ ਦੀਆਂ ਬੰਧਨ ਵਾਲੀਆਂ ਪਰਤਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਮੋਲਡ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਯੰਤਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਕਈ ਲੇਅਰਾਂ ਨੂੰ ਸ਼ਾਮਲ ਕਰਨਾ ਨਰਮ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਹਨਾਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਕੋਮਲਤਾ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਡਿਵਾਈਸ ਦੇ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਦੋ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕ੍ਰਮ ਦੀ ਤੀਬਰਤਾ ਦੁਆਰਾ ਘਟਾਉਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੇ ਹੋਰ ਫਾਇਦੇ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤੇਜ਼ ਪ੍ਰੋਟੋਟਾਈਪਿੰਗ, ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਦੀ ਸੌਖ, ਅਤੇ ਬਾਇਓਕੰਪਟੀਬਿਲਟੀ, ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਸਾਫਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਿੱਚ ਵੀ ਜਾਇਜ਼ ਹਨ। ਅਸੀਂ ਇਸ ਤਕਨੀਕ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਨ-ਆਫ ਵਾਲਵ, ਸਵਿਚਿੰਗ ਵਾਲਵ, ਅਤੇ ਇਲਾਸਟੋਮਰਾਂ ਤੋਂ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਬਾਹਰ ਪੰਪਾਂ ਨਾਲ ਸਰਗਰਮ ਮਾਈਕ੍ਰੋਫਲੂਇਡਿਕ ਸਿਸਟਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।