Microscale Manufacturing / Micromanufacturing / Micromachining / MEMS

MICROMANUFACTURING, MICROSCALE MANUFACTURING, MICROFABRICATION or MICROMACHINING refers to our processes suitable for making tiny devices and products in the micron or microns of dimensions. ځینې وختونه د مایکرو تولید شوي محصول عمومي ابعاد ممکن لوی وي ، مګر موږ لاهم دا اصطلاح د اصولو او پروسو ته راجع کولو لپاره کاروو چې پکې ښکیل دي. موږ د لاندې ډول وسیلو جوړولو لپاره د مایکرو مینوفیکچرنګ طریقه کاروو:

 

 

 

مایکرو الیکترونیکي وسایل: عادي مثالونه د سیمی کنډکټر چپس دي چې د بریښنایی او بریښنایی اصولو پراساس فعالیت کوي.

 

مایکرو میخانیکي وسایل: دا هغه محصولات دي چې په طبیعت کې خالص میخانیکي دي لکه خورا کوچني ګیرونه او زنګونه.

 

مایکرو الیکټرو میخانیکي وسایل: موږ د مایکرو تولید تخنیکونه کاروو ترڅو میخانیکي ، بریښنایی او بریښنایی عناصر په خورا کوچني اوږدوالي پیمانه یوځای کړو. زموږ ډیری سینسرونه پدې کټګورۍ کې دي.

 

مایکرو الیکټرو میخانیکي سیسټمونه (MEMS): دا مایکرو الیکټرو میخانیکي وسیلې هم په یو محصول کې مدغم بریښنایی سیسټم شاملوي. پدې کټګورۍ کې زموږ مشهور سوداګریز محصولات د MEMS سرعت کونکي ، د هوا کڅوړې سینسرونه او ډیجیټل مایکرومیرر وسایل دي.

 

 

 

د تولید شوي محصول پورې اړه لري ، موږ د لاندې لوی مایکرو تولید میتودونو څخه یو ځای په ځای کوو:

 

بلک مایکروماشینینګ: دا یو نسبتا زوړ میتود دی چې په واحد کرسټال سیلیکون باندې د اورینټیشن پورې تړلي ایچ کاروي. د لوی مایکرو ماشین کولو طریقه په سطحه کې د ایچ کولو پر بنسټ والړ ده، او د اړتیا وړ جوړښت رامینځته کولو لپاره په ځانګړي کرسټال مخونو، ډپ شوي سیمو، او د ایچ وړ فلمونو ودرول. عادي محصولات چې موږ یې د لوی مایکرو ماشین کولو تخنیک په کارولو سره د مایکرو تولید کولو وړتیا لرو عبارت دي له:

 

- کوچني کینټیلیورونه

 

- د نظری فایبرونو د سمون او تنظیم لپاره په سیلیکون کې V-groves.

 

د سطحې مایکروماشینینګ: له بده مرغه لوی مایکروماشینینګ په واحد کرسټال موادو پورې محدود دی ، ځکه چې پولی کرسټال مواد به په مختلف نرخونو کې د لوند ایچنټونو په کارولو سره ماشین ونه کړي. له همدې امله د سطحې مایکروماشینینګ د لوی مایکرو ماشین کولو بدیل په توګه څرګند دی. سپیسر یا قربانی پرت لکه فاسفوسیلیکیټ شیش د CVD پروسې په کارولو سره په سیلیکون سبسټریټ کې زیرمه کیږي. په عمومي ډول ووایو، د پولی سیلیکون، فلزي، فلزي مرکباتو، ډایالټریکس ساختماني پتلي فلم پرتونه د سپیسر پرت کې زیرمه شوي. د وچې نقاشي تخنیکونو په کارولو سره، د ساختماني پتلي فلم پرتونه نمونه شوي او د قربانۍ پرت لرې کولو لپاره لوند ایچنګ کارول کیږي، چې په دې توګه د آزاد ولاړ جوړښتونو لکه کینټیلیورونو پایله ده. همدارنګه ممکنه ده چې د ځینو ډیزاینونو په محصولاتو بدلولو لپاره د لوی او سطحي مایکرو ماشین کولو تخنیکونو ترکیب کارول. د پورته دوه تخنیکونو ترکیب په کارولو سره د مایکرو تولید لپاره مناسب محصولات:

 

- د فرعي ملی میټریک اندازه مایکرو لامپس (د 0.1 ملی میتر اندازې په ترتیب کې)

 

- د فشار سینسرونه

 

- مایکرو پمپونه

 

- مایکروموټرونه

 

- فعالونکي

 

- د مایکرو مایع جریان وسایل

 

ځینې وختونه، د لوړ عمودی جوړښتونو ترلاسه کولو لپاره، مایکرو تولید په لوی فلیټ جوړښتونو کې په افقی ډول ترسره کیږي او بیا جوړښتونه د پروبونو سره د سینټرفیوګینګ یا مایکرو ایسمبلي تخنیکونو په کارولو سره په مستقیم حالت کې څرخیږي یا پوښل کیږي. بیا هم خورا لوړ جوړښتونه په واحد کرسټال سیلیکون کې د سیلیکون فیوژن بانډنګ او ژور عکس العمل ایون ایچنګ په کارولو سره ترلاسه کیدی شي. ژور عکس العمل ایون ایچینګ (DRIE) د مایکرو تولید پروسه په دوه جلا ویفرونو کې ترسره کیږي ، بیا تنظیم شوي او فیوژن بانډ شوي ترڅو خورا لوړ جوړښتونه تولید کړي چې بل ډول به ناممکن وي.

 

 

 

د LIGA مایکرو جوړونې پروسې: د LIGA پروسه د ایکس رې لیتوګرافي ، الکترودپوزیشن ، مولډینګ سره یوځای کوي او عموما لاندې مرحلې پکې شاملې دي:

 

 

 

1. څو سوه مایکرون ضخامت پولی میتیل میتاکریلایټ (PMMA) مقاومتي طبقه په لومړني سبسټریټ کې جمع کیږي.

 

2. PMMA د کولیمیټ شوي ایکس رے په کارولو سره رامینځته کیږي.

 

3. فلزي په لومړني سبسټریټ کې الکترو ډیپوزیټ کیږي.

 

4. PMMA لیرې شوی او یو آزاد فلزي جوړښت پاتې دی.

 

5. موږ پاتې فلزي جوړښت د مولډ په توګه کاروو او د پلاستيک انجیکشن مولډینګ ترسره کوو.

 

 

 

که تاسو پورتني پنځه لومړني مرحلې تحلیل کړئ ، د LIGA مایکرو مینوفیکچرینګ / مایکرو ماشینینګ تخنیکونو په کارولو سره موږ ترلاسه کولی شو:

 

 

 

- د فلزي جوړښتونه آزاد

 

- انجکشن مولډ پلاستيکي جوړښتونه

 

- د خالي په توګه د انجیکشن مولډ جوړښت په کارولو سره موږ کولی شو د کاسټ فلزي برخې یا سلیپ کاسټ سیرامیک برخو پانګونه وکړو.

 

 

 

د LIGA مایکرو مینوفیکچرنګ / مایکرو ماشین کولو پروسې وخت مصرف او ګران دي. په هرصورت د LIGA مایکروماشینینګ دا سب مایکرون دقیق مولډونه تولیدوي کوم چې د مطلوب جوړښتونو د جلا ګټو سره د نقل کولو لپاره کارول کیدی شي. د LIGA مایکرو تولید د مثال په توګه کارول کیدی شي د نادر ځمکې پوډر څخه خورا قوي کوچني مقناطیس جوړ کړي. د نادر ځمکې پوډر د epoxy باندر سره مخلوط شوي او د PMMA مولډ ته فشار ورکول کیږي، د لوړ فشار لاندې درملنه کیږي، د قوي مقناطیسي ساحو لاندې مقناطیس شوي او په پای کې PMMA منحل کیږي د کوچني قوي نادر ځمکې مقناطیس شاته پریږدي چې یو له حیرانتیا څخه دی. micromachining / micromachining. موږ د دې وړتیا هم لرو چې د ویفر پیمانه ډیفیوژن بانډینګ له لارې د څو سطحې MEMS مایکرو مینوفیکچرینګ / مایکرو ماشینینګ تخنیکونو ته وده ورکړو. اساسا موږ کولی شو د MEMS وسیلو کې ډیر ځړول جیومیټریز ولرو ، د بیچ ډیفیوژن بانډینګ او خوشې کولو پروسیجر په کارولو سره. د مثال په توګه موږ دوه PMMA نمونه شوي او الیکټروفارم شوي پرتونه چمتو کوو چې د PMMA وروسته خپاره شوي. بیا، ویفرونه د لارښود پنونو سره مخامخ شوي دي او په ګرم پریس کې یوځای سره فټ کړئ. د قربانۍ پرت په یوه فرعي برخه کې ایښودل کیږي چې په پایله کې یو پرت له بل سره تړل کیږي. نور غیر LIGA میشته مایکرو تولید تخنیکونه هم موږ ته د مختلف پیچلي څو پوړ جوړښتونو جوړولو لپاره شتون لري.

 

 

 

د سولیډ فریفورم مایکرو فابریکیشن پروسې: د ګړندي پروټوټایپ لپاره اضافه مایکرو تولید کارول کیږي. پیچلي 3D جوړښتونه د دې مایکرو ماشین کولو میتود لخوا ترلاسه کیدی شي او د موادو لرې کول نه ترسره کیږي. د مایکروسټریولیتوګرافي پروسه د مایع ترموسینګ پولیمر ، فوټوینیټیټر او خورا متمرکز لیزر سرچینه کاروي چې قطر یې تر 1 مایکرون او د پرت ضخامت شاوخوا 10 مایکرون دی. په هرصورت، دا د مایکرومینوفیکچرنګ تخنیک د غیر منظم پولیمر جوړښتونو تولید پورې محدود دی. د مایکرو مینوفیکچرنګ بله طریقه، لکه "فوري ماسکینګ" یا د "الیکټرو کیمیکل جوړونې" یا EFAB په نوم هم پیژندل کیږي د فوتو لیتوګرافي په کارولو سره د الیسټومیریک ماسک تولید شامل دي. ماسک بیا په الکترودپوزیشن حمام کې د سبسټریټ په وړاندې فشار ورکول کیږي ترڅو ایلسټومر د سبسټریټ سره مطابقت ولري او د تماس په ساحو کې د پلیټینګ محلول خارج کړي. هغه سیمې چې ماسک نه وي د ماسک د عکس عکس په توګه الیکټروډیپوز شوي دي. د قربانۍ ډکونکي په کارولو سره ، پیچلي 3D شکلونه مایکرو فابریکټ شوي دي. دا "فوري ماسکینګ" د مایکرو مینوفیکچرنګ / مایکروماشینینګ میتود دا هم امکان لري چې د اوور هینګز ، آرچ ... او داسې نور تولید کړي.