نرم Lithography

SOFT LITHOGRAPHY  ھڪڙو اصطلاح آھي جيڪو نمونن جي منتقلي لاءِ ڪيترن ئي عملن لاءِ استعمال ٿيندو آھي. هڪ ماسٽر مولڊ سڀني صورتن ۾ گهربل آهي ۽ معياري ليٿوگرافي طريقن کي استعمال ڪندي مائڪرو فيبرڪ ڪيو ويو آهي. ماسٽر مولڊ کي استعمال ڪندي، اسان نرم ليٿوگرافي ۾ استعمال ٿيڻ لاءِ هڪ ايلسٽوميرڪ نمونو / اسٽيمپ ٺاهيندا آهيون. هن مقصد لاءِ استعمال ٿيل ايلسٽومر کي ڪيميائي طور تي غير فعال هجڻ جي ضرورت آهي، سٺو حرارتي استحڪام، طاقت، استحڪام، سطح جي ملڪيت ۽ هائگروسکوپي هجڻ گهرجي. سلڪون ربر ۽ PDMS (Polydimethylsiloxane) ٻه سٺا اميدوار مواد آهن. اهي اسٽاپ ڪيترائي ڀيرا نرم ليٿوگرافي ۾ استعمال ڪري سگھجن ٿيون.

 

 

 

نرم ليٿوگرافي جي هڪ تبديلي آهي MICROCONTACT پرنٽنگ. elastomer اسٽيمپ هڪ مس سان گڏ ڪيو ويو آهي ۽ سطح جي خلاف دٻايو ويو آهي. نموني جون چوٽيون مٿاڇري سان رابطو ڪن ٿيون ۽ مس جي اٽڪل 1 monolayer جي هڪ پتلي پرت منتقل ڪئي وئي آهي. هي ٿلهي فلم monolayer چونڊيل ويٽ ايچنگ لاءِ ماسڪ طور ڪم ڪري ٿو.

 

 

 

هڪ ٻيو تغير آهي MICROTRANSFER مولڊنگ، جنهن ۾ ايلسٽومر مولڊ جا رسيس مائع پوليمر اڳڪٿي سان ڀريل هوندا آهن ۽ هڪ مٿاڇري جي خلاف ڌڪيل هوندا آهن. هڪ دفعو پوليمر مائڪرو ٽرانسفر مولڊنگ کان پوءِ علاج ڪري ٿو، اسان مولڊ کي ڇڪي ڇڏيندا آهيون، گهربل نموني جي پويان ڇڏي.

 

 

 

آخر ۾ هڪ ٽيون ويريشن آهي MICROMOLDING ان ڪيپيلريز ۾، جتي ايلسٽومر اسٽيمپ جو نمونو انهن چينلن تي مشتمل هوندو آهي جيڪي ڪيپيلري قوتن کي استعمال ڪندا آهن ته جيئن مائع پوليمر کي ان جي پاسي کان اسٽيمپ ۾ وائڪ ڪرڻ لاءِ. بنيادي طور تي، مائع پوليمر جو هڪ ننڍڙو مقدار ڪيپيلري چينلن جي ڀرسان رکيل آهي ۽ ڪيپيلري قوتن چينلن ۾ مائع کي ڇڪي ٿو. اضافي مائع پوليمر کي هٽايو ويو آهي ۽ چينلن اندر پوليمر کي علاج ڪرڻ جي اجازت ڏني وئي آهي. اسٽيمپ مولڊ کي ختم ڪيو ويو آهي ۽ پيداوار تيار آهي. جيڪڏهن چينل جو پاسو تناسب معتدل آهي ۽ چينل جي طول و عرض استعمال ٿيل مائع تي منحصر آهي، سٺي نموني جي نقل کي يقيني بڻائي سگهجي ٿو. ڪيپيلرن ۾ مائڪرو مولڊنگ ۾ استعمال ٿيندڙ مائع ٿي سگهي ٿو ٿرموسيٽنگ پوليمر، سيرامڪ سول-جيل يا مائع سولوينٽس اندر سولڊس جا معطلي. ڪيپيلري ٽيڪنڪ ۾ مائڪرو مولڊنگ سينسر جي پيداوار ۾ استعمال ڪيو ويو آهي.

 

 

 

نرم لٿوگرافي کي استعمال ڪيو ويندو آهي خاصيتن کي تعمير ڪرڻ لاءِ مائڪرو ميٽر کان نانوميٽر اسڪيل تي ماپيل. نرم لٿوگرافي کي لٿوگرافي جي ٻين شڪلين جهڙوڪ فوٽووليٿگرافي ۽ اليڪٽران بيم ليٿوگرافي تي فائدا آهن. فائدن ۾ هيٺيان شامل آهن:

 

• روايتي ڦوٽو گرافي جي ڀيٽ ۾ وڏي پئماني تي پيداوار ۾ گھٽ قيمت

 

• بايو ٽيڪنالاجي ۽ پلاسٽڪ اليڪٽرانڪس ۾ ايپليڪيشنن لاء مناسب

 

• ايپليڪيشنن لاءِ موزونيت جنهن ۾ وڏي يا غير پلانر (غير فليٽ) سطحون شامل آهن

 

• نرم لٿوگرافي روايتي ليٿوگرافي ٽيڪنڪ جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ نمونن جي منتقلي جا طريقا پيش ڪري ٿي (وڌيڪ ''انڪ'' جا اختيار)

 

• نرم لٿوگرافي کي نانو اسٽريچر ٺاهڻ لاءِ تصويري رد عمل واري مٿاڇري جي ضرورت ناهي

 

• نرم ليٿوگرافي سان اسان ليبارٽري سيٽنگون (~30 nm بمقابله ~ 100 nm) ۾ فوٽو ليٿوگرافي کان ننڍا تفصيل حاصل ڪري سگهون ٿا. قرارداد استعمال ٿيل ماسڪ تي منحصر آهي ۽ قيمت 6 nm تائين پهچي سگهي ٿو.

 

 

 

MULTILAYER SOFT LITHOGRAPHY  ھڪ ٺاھڻ وارو عمل آھي جنھن ۾ خوردبيني چيمبرز، چينلز، والوز ۽ ويز کي ايلسٽومر جي بند ٿيل تہن ۾ ٺاھيو ويندو آھي. گھڻن تہن تي مشتمل ملٽي ليئر نرم ليٿوگرافي ڊوائيسز استعمال ڪندي نرم مواد مان ٺاھي سگھجي ٿو. انهن مواد جي نرمي کي اجازت ڏئي ٿي ته ڊوائيس جي علائقن کي سلڪون تي ٻڌل ڊوائيسز جي مقابلي ۾ ٻن آرڊرن جي ڀيٽ ۾ گھٽ ڪيو وڃي. نرم لٿوگرافي جا ٻيا فائدا، جھڙوڪ تيز پروٽوٽائپنگ، ٺاھڻ ۾ آساني، ۽ بايو مطابقت، پڻ ملٽي ليئر نرم ليٿوگرافي ۾ صحيح آھن. اسان هن ٽيڪنڪ کي استعمال ڪريون ٿا فعال مائڪرو فلائيڊڪ سسٽم ٺاهڻ لاءِ آن آف والوز، سوئچنگ والوز، ۽ پمپ مڪمل طور تي ايلسٽومر مان.