Софт Литхограпхи

СОФТ ЛИТХОГРАПХИ_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_је термин који се користи за бројне процесе за пренос шаблона. Главни калуп је потребан у свим случајевима и микрофабрикује се стандардним методама литографије. Користећи главни калуп, производимо еластомерни узорак / печат који ће се користити у мекој литографији. Еластомери који се користе у ове сврхе морају бити хемијски инертни, имати добру термичку стабилност, чврстоћу, издржљивост, својства површине и бити хигроскопни. Силиконска гума и ПДМС (полидиметилсилоксан) су два добра кандидата материјала. Ове марке се могу користити много пута у мекој литографији.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

Једна варијација меке литографије је_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_МИКРОКОНТАКТНО ШТАМПАЊЕ. Еластомерни печат је премазан мастилом и притиснут на површину. Врхови шара додирују површину и танак слој од око 1 монослоја мастила се преноси. Овај монослој танког филма делује као маска за селективно влажно нагризање.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

Друга варијанта је_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_МИЦРОТРАНСФЕР МОЛДИНГ, у којој се удубљења калупа од еластомера пуне течним полимерним претходником и гурају на површину. Када се полимер очврсне након микротрансферног обликовања, скинемо калуп, остављајући за собом жељени узорак.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

На крају, трећа варијација је_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_МИЦРОМОЛДИНГ У КАПИЛАРИМА, где се шаблон еластомерног штанца састоји од канала који користе капиларне силе да увуку течни полимер у печат са његове стране. У основи, мала количина течног полимера се поставља поред капиларних канала и капиларне силе повлаче течност у канале. Вишак течног полимера се уклања и полимер унутар канала се оставља да очврсне. Калуп за печат је ољуштен и производ је спреман. Ако је однос ширине и висине канала умерен и дозвољене димензије канала зависе од употребљене течности, може се обезбедити добра репликација узорка. Течност која се користи у микромлађивању капилара може бити термореактивни полимери, керамички сол-гел или суспензије чврстих материја у течним растварачима. Техника микромолдинга у капиларама је коришћена у производњи сензора.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

Мека литографија се користи за конструисање карактеристика мерених на скали од микрометара до нанометра. Мека литографија има предности у односу на друге облике литографије као што су фотолитографија и литографија електронским снопом. Предности укључују следеће:

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Нижа цена у масовној производњи од традиционалне фотолитографије

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Погодност за примену у биотехнологији и пластичној електроници

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Погодност за апликације које укључују велике или непланарне (неравне) површине

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Мека литографија нуди више метода за преношење узорака од традиционалних техника литографије (више опција „мастила“)

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Мекој литографији није потребна фотореактивна површина да би се створиле наноструктуре

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

• Са меком литографијом можемо постићи мање детаље од фотолитографије у лабораторијским поставкама (~30 нм наспрам ~100 нм). Резолуција зависи од маске која се користи и може достићи вредности до 6 нм.

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_

ВИШЕСЛОЈНА МЕКА ЛИТОГРАФИЈА_цц781905-5цде-3194-бб3б-136бад5цф58д_је производни процес у којем се микроскопске коморе, канали, вентили и отворе обликују унутар везаних слојева еластомера. Коришћењем вишеслојних уређаја за меку литографију који се састоје од више слојева могу се направити од меких материјала. Мекоћа ових материјала омогућава да се површине уређаја смање за више од два реда величине у поређењу са уређајима на бази силицијума. Друге предности меке литографије, као што су брза израда прототипа, лакоћа израде и биокомпатибилност, такође важе у вишеслојној мекој литографији. Користимо ову технику за изградњу активних микрофлуидних система са он-офф вентилима, преклопним вентилима и пумпама у потпуности од еластомера.