సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ

సాఫ్ట్ లిథోగ్రఫీ  అనేది నమూనా బదిలీ కోసం అనేక ప్రక్రియలకు ఉపయోగించే పదం. అన్ని సందర్భాల్లో మాస్టర్ అచ్చు అవసరం మరియు ప్రామాణిక లితోగ్రఫీ పద్ధతులను ఉపయోగించి మైక్రోఫ్యాబ్రికేట్ చేయబడుతుంది. మాస్టర్ అచ్చును ఉపయోగించి, సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీలో ఉపయోగించేందుకు మేము ఎలాస్టోమెరిక్ నమూనా / స్టాంప్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తాము. ఈ ప్రయోజనం కోసం ఉపయోగించే ఎలాస్టోమర్‌లు రసాయనికంగా జడత్వం కలిగి ఉండాలి, మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వం, బలం, మన్నిక, ఉపరితల లక్షణాలను కలిగి ఉండాలి మరియు హైగ్రోస్కోపిక్‌గా ఉండాలి. సిలికాన్ రబ్బరు మరియు PDMS (పాలిడిమిథైల్సిలోక్సేన్) రెండు మంచి అభ్యర్థి పదార్థాలు. ఈ స్టాంపులను సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీలో చాలా సార్లు ఉపయోగించవచ్చు.

 

 

 

సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ యొక్క ఒక వైవిధ్యం MICROCONTACT ప్రింటింగ్. ఎలాస్టోమర్ స్టాంప్ సిరాతో పూత పూయబడి ఉపరితలంపై నొక్కి ఉంచబడుతుంది. నమూనా శిఖరాలు ఉపరితలాన్ని సంప్రదిస్తాయి మరియు ఇంక్ యొక్క 1 మోనోలేయర్ యొక్క పలుచని పొర బదిలీ చేయబడుతుంది. ఈ థిన్ ఫిల్మ్ మోనోలేయర్ సెలెక్టివ్ వెట్ ఎచింగ్ కోసం మాస్క్‌గా పనిచేస్తుంది.

 

 

 

రెండవ వైవిధ్యం MICROTRANSFER MOLDING, దీనిలో ఎలాస్టోమర్ అచ్చు యొక్క అంతరాలు ద్రవ పాలిమర్ పూర్వగామితో నిండి ఉంటాయి మరియు ఉపరితలంపైకి నెట్టబడతాయి. మైక్రోట్రాన్స్ఫర్ మౌల్డింగ్ తర్వాత పాలిమర్ నయమైన తర్వాత, మేము కావలసిన నమూనాను వదిలివేసి, అచ్చును తీసివేస్తాము.

 

 

 

చివరగా మూడవ వైవిధ్యం MICROMOLDING IN CAPILLARIES, ఇక్కడ ఎలాస్టోమర్ స్టాంప్ నమూనా దాని వైపు నుండి స్టాంప్‌లోకి ద్రవ పాలిమర్‌ను విక్ చేయడానికి కేశనాళిక శక్తులను ఉపయోగించే ఛానెల్‌లను కలిగి ఉంటుంది. ప్రాథమికంగా, లిక్విడ్ పాలిమర్ యొక్క చిన్న మొత్తం కేశనాళిక ఛానెల్‌లకు ప్రక్కనే ఉంచబడుతుంది మరియు కేశనాళిక శక్తులు ద్రవాన్ని ఛానెల్‌లలోకి లాగుతాయి. అదనపు లిక్విడ్ పాలిమర్ తొలగించబడుతుంది మరియు ఛానెల్‌ల లోపల ఉన్న పాలిమర్‌ను నయం చేయడానికి అనుమతించబడుతుంది. స్టాంప్ అచ్చు ఒలిచి, ఉత్పత్తి సిద్ధంగా ఉంది. ఛానెల్ యాస్పెక్ట్ రేషియో మితంగా ఉంటే మరియు ఛానల్ కొలతలు అనుమతించబడిన లిక్విడ్‌పై ఆధారపడి ఉంటే, మంచి నమూనా ప్రతిరూపణకు హామీ ఇవ్వబడుతుంది. కేశనాళికలలో మైక్రోమోల్డింగ్‌లో ఉపయోగించే ద్రవం థర్మోసెట్టింగ్ పాలిమర్‌లు, సిరామిక్ సోల్-జెల్ లేదా ద్రవ ద్రావకాలలోని ఘనపదార్థాల సస్పెన్షన్‌లు కావచ్చు. కేశనాళికల సాంకేతికతలోని మైక్రోమోల్డింగ్ సెన్సార్ తయారీలో ఉపయోగించబడింది.

 

 

 

మైక్రోమీటర్ నుండి నానోమీటర్ స్కేల్‌పై కొలిచిన లక్షణాలను నిర్మించడానికి సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ ఉపయోగించబడుతుంది. ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ లితోగ్రఫీ వంటి ఇతర రకాల లితోగ్రఫీ కంటే సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీకి ప్రయోజనాలు ఉన్నాయి. ప్రయోజనాలు క్రింది వాటిని కలిగి ఉంటాయి:

 

• సాంప్రదాయ ఫోటోలిథోగ్రఫీ కంటే భారీ ఉత్పత్తిలో తక్కువ ధర

 

• బయోటెక్నాలజీ మరియు ప్లాస్టిక్ ఎలక్ట్రానిక్స్‌లో అప్లికేషన్‌లకు అనుకూలత

 

• పెద్ద లేదా నాన్‌ప్లానార్ (నాన్‌ఫ్లాట్) ఉపరితలాలతో కూడిన అప్లికేషన్‌లకు అనుకూలత

 

• సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ సాంప్రదాయ లితోగ్రఫీ పద్ధతుల కంటే ఎక్కువ నమూనా-బదిలీ పద్ధతులను అందిస్తుంది (మరిన్ని ''ఇంక్'' ఎంపికలు)

 

• నానోస్ట్రక్చర్‌లను రూపొందించడానికి సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీకి ఫోటో-రియాక్టివ్ ఉపరితలం అవసరం లేదు

 

• సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీతో మనం ప్రయోగశాల సెట్టింగ్‌లలో ఫోటోలిథోగ్రఫీ కంటే చిన్న వివరాలను సాధించవచ్చు (~30 nm vs ~100 nm). రిజల్యూషన్ ఉపయోగించిన ముసుగుపై ఆధారపడి ఉంటుంది మరియు 6 nm వరకు విలువలను చేరుకోగలదు.

 

 

 

మల్టీలేయర్ సాఫ్ట్ లిథోగ్రఫీ  అనేది ఒక ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియ, దీనిలో మైక్రోస్కోపిక్ ఛాంబర్‌లు, ఛానెల్‌లు, వాల్వ్‌లు మరియు వియాలు ఎలాస్టోమర్‌ల బంధిత పొరల్లో మౌల్డ్ చేయబడతాయి. బహుళ లేయర్‌లతో కూడిన మల్టీలేయర్ సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ పరికరాలను ఉపయోగించి సాఫ్ట్ మెటీరియల్స్ నుండి తయారు చేయవచ్చు. ఈ పదార్ధాల యొక్క మృదుత్వం సిలికాన్-ఆధారిత పరికరాలతో పోలిస్తే పరికర ప్రాంతాలను రెండు కంటే ఎక్కువ ఆర్డర్‌ల పరిమాణంతో తగ్గించడానికి అనుమతిస్తుంది. సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీ యొక్క ఇతర ప్రయోజనాలు, వేగవంతమైన ప్రోటోటైపింగ్, ఫాబ్రికేషన్ సౌలభ్యం మరియు బయో కాంపాబిలిటీ వంటివి కూడా బహుళస్థాయి సాఫ్ట్ లితోగ్రఫీలో చెల్లుబాటు అవుతాయి. ఆన్-ఆఫ్ వాల్వ్‌లు, స్విచ్చింగ్ వాల్వ్‌లు మరియు పూర్తిగా ఎలాస్టోమర్‌ల నుండి పంప్‌లతో క్రియాశీల మైక్రోఫ్లూయిడ్ సిస్టమ్‌లను రూపొందించడానికి మేము ఈ సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తాము.