Литографияи нарм

SOFT LITHOGRAPHY  истилоҳест, ки барои як қатор равандҳо барои интиқоли намуна истифода мешавад. Дар ҳама ҳолатҳо қолаби усто лозим аст ва бо истифода аз усулҳои стандартии литография микрофабрика карда мешавад. Бо истифода аз қолаби усто, мо намунаи эластомерӣ / штамп истеҳсол мекунем, ки дар литографияи нарм истифода мешавад. Эластомерхое, ки барои ин максад истифода мешаванд, бояд аз чихати химиявй безарар, устувории хуби термикй, мустахкамй, устуворй, хосиятхои руизаминй ва гигроскопй дошта бошанд. Каучуки силикон ва PDMS (Polydimethylsiloxane) ду маводи хуби номзадӣ мебошанд. Ин маркаҳоро дар литографияи нарм борҳо истифода бурдан мумкин аст.

 

 

 

Як варианти литографияи нарм ин MICROCONTACT PRINTING. Тамғаи эластомерӣ бо сиёҳ пӯшонида шудааст ва ба рӯи рӯи он пахш карда мешавад. Қуллаҳои намунавӣ бо рӯи тамос мешаванд ва як қабати тунуки тақрибан 1 қабати ранг интиқол дода мешавад. Ин як қабати филми тунук ҳамчун ниқоб барои пошидани тар интихобкунанда амал мекунад.

 

 

 

Варианти дуюм ин аст MICROTRANSFER MOLDING, ки дар он чуқуриҳои қолаби эластомерӣ бо пешгузаштаи полимери моеъ пур карда мешаванд ва ба рӯи рӯи он тела дода мешаванд. Пас аз он ки полимер пас аз қолаби микротрансферӣ шифо меёбад, мо қолабро пӯст мекунем ва дар паси намунаи дилхоҳ мемонем.

 

 

 

Ниҳоят, варианти сеюм аст MICROMOLDING IN CAPILLARIES, ки дар он намунаи штампи эластомерӣ аз каналҳое иборат аст, ки қувваҳои капилляриро истифода мебаранд, то полимери моеъро аз паҳлӯи он ба штамп ворид кунанд. Асосан, миқдори ками полимери моеъ дар шафати каналҳои капиллярӣ ҷойгир карда мешавад ва қувваҳои капиллярӣ моеъро ба каналҳо мекашанд. Полимери моеъи зиёдатӣ хориҷ карда мешавад ва полимер дар дохили каналҳо барои табобат иҷозат дода мешавад. Колаби марка пуст карда, махсулот тайёр аст. Агар таносуби ҷанбаҳои канал мӯътадил бошад ва андозаи каналҳои иҷозатдодашуда аз моеъи истифодашуда вобаста бошад, такрори хуби намунаро метавон кафолат дод. Моеъе, ки дар микромолдинг дар капиллярҳо истифода мешавад, метавонад полимерҳои термостатӣ, сол-гели сафолӣ ё суспензияҳои моддаҳои сахт дар дохили ҳалкунандаҳои моеъ бошад. Техникаи микромолдинг дар капиллярҳо дар истеҳсоли сенсор истифода шудааст.

 

 

 

Литографияи нарм барои сохтани хусусиятҳое, ки аз микрометр то миқёси нанометр чен карда мешаванд, истифода мешавад. Литографияи нарм нисбат ба дигар шаклҳои литография бартарият дорад, ба монанди фотолитография ва литографияи шуои электронӣ. Афзалиятҳо инҳоро дар бар мегиранд:

 

• Арзиши пасттар дар истеҳсоли оммавӣ нисбат ба фотолитографияи анъанавӣ

 

• Муносиб будан барои барномаҳо дар биотехнология ва электроникаи пластикӣ

 

• Муносиб будан барои барномаҳое, ки сатҳи калон ё ғайриҳамвор (ғайриҳамвор) доранд

 

• Литографияи нарм нисбат ба усулҳои анъанавии литография усулҳои бештари интиқоли намунаро пешниҳод мекунад (имконоти бештари ''сиёҳ'')

 

• Литографияи нарм барои эҷоди наноструктураҳо ба сатҳи фотореактивӣ ниёз надорад

 

• Бо литографияи нарм мо метавонем тафсилоти хурдтарро нисбат ба фотолитография дар муҳити лабораторӣ ба даст орем (~30 нм ва ~100 нм). Ҳаҷм аз ниқоби истифодашуда вобаста аст ва метавонад ба арзишҳои то 6 нм расад.

 

 

 

LITOGRAPHY MULTILAYER SOFT SOFT  як раванди истеҳсолӣ мебошад, ки дар он камераҳои микроскопӣ, каналҳо, клапанҳо ва вентиляторҳо дар қабатҳои пайвастшудаи эластомерҳо шакл дода мешаванд. Бо истифода аз дастгоҳҳои бисёрқабати мулоими литография, ки аз қабатҳои сершумор иборатанд, мумкин аст аз маводи нарм сохта шаванд. Нарм будани ин мавод имкон медиҳад, ки майдони дастгоҳ нисбат ба дастгоҳҳои кремнийӣ бештар аз ду дараҷа кам карда шавад. Афзалиятҳои дигари литографияи нарм, аз қабили прототипсозии зуд, осонии истеҳсол ва мутобиқати биологӣ, инчунин дар литографияи мулоими бисёрқабата эътибор доранд. Мо ин усулро барои сохтани системаҳои фаъоли микрофлюидӣ бо клапанҳои фурӯзон-хомӯш, клапанҳои ивазкунанда ва насосҳо комилан аз эластомерҳо истифода мебарем.